概览

用于重样品与标准300mm尺寸大样品的针尖扫描型原子力显微镜 

 标准AFM系统
 300 mm x 300 mm 标准样品台
 适合重至45kg样品

Nanosurf是重型样品和大型样品的客户定制原子力显微镜系统的专业解决方案提供者。二十几年来，我们的研发团队为众多客户开发了定制化的原子力显微镜系统，积累了丰富的定制化经验。

基于这些丰富的知识与积累，我们开发了适用于标准300mm尺寸的大样品或大45千克的重样品的标准化原子力显微镜系统。与客户定制化系统相比，Alphacen 300大大降低了价格和交货时间。

 

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自动多点测量

Alphacen 300包括了功能强大的自动化软件，该软件允许用户在光学图像或样品台范围上预选感兴趣的位置，并让系统在无需用户介入的状态下进行多点自动测量。 

重玻璃样品

多数大样品原子力显微镜能够处理200 mm的平面样品，通常用于分析半导体晶片。但是，这些系统的局限性之一是它们可以处理的样品重量。

Alphacen 300满足了标准原子力显微镜所需要的对大型的和不超过45 kg重型样品的成像需求。50mm的Z轴行程还可以对薄硅片以外的较厚的样品进行成像。

大而重的样品在光学行业中非常普遍，例如在大透镜的生产和半导体工业中，又比如组装的暗盒或成品。

大样品

Alphacen 300型原子力显微镜系统的标准载物台XY轴可移动300 mm x 300 mm，可测量300 mm样品上的每个点。根据需要，我们还可以修改载物台到更大的X方向移动范围（大500mm）。

XY样品台移动马达的分辨率小于1 µm，重复定位精度为2 µm，从而可以将样品需要测量的位置精确定位在针尖下方。

该软件的集成自动化功能可节省时间，对测量系列进行预编程。

 

扫描尺寸:
1.5 µm x 1.5 µm
扫描显示大台阶之间的层高度是1.5 nm，大和小台阶之间的层高度是0.75 nm半层。

 

扫描尺寸:
5 µm x 5 µm
表面粗糙度: 0.112 nm RMS (0.087 nm Ra)