HOPG上的低电流测量 导电探针AFM (cAFM) 已成为半导体行业中非常重要的分析工具。掺杂,电导率,表面电势和电流只是cAFM的部分示例。不断改进和发展该技术以扩展其功能,提高其敏感性是必不可少的一个方面。 阅读应用笔记(PDF)