钛刻蚀

原子力显微镜 (AFM) 由于其显示的制造纳米结构的能力而对纳米技术的发展产生了重大影响。通过原子力显微镜对金属表面进行局部氧化已被证明是一种用于纳米级的器件制造和结构图案化的刻蚀方法。