开尔文探针力显微(KPFM)是AFM的扩展。这项技术是由Nonnenmacher和同事们于1991年首次发布的。用KPFM可以记录包含有关针尖和样品之间的局部功函数或接触电位差的信息的图像。
尽管原则上所有Nanite系统都可以执行KPFM，但FlexAFM已证明具有最佳的KPFM性能，因此是此类测量的首选仪器。
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本地电荷以"瑞士十字"图案被放置在绝缘（氧化物）表面层上。图片提供: Marcin Kisiel, Thilo Glatzel 和巴塞尔大学纳米课程的学生们。
KPFM 信号(顶图)和同时记录的地形数据(下图)。
