金基板上铝点的EFM

EFM使用悬臂振荡谐振频率的偏移来监测样品和尖端之间的静电场变化。静电力始终具有吸引力，在尖端和样品之间的较大接触电位差异时增加，从而导致悬臂的（固定）振荡频率处的低相位。

在运行尖端电压频谱时，可以优雅地测量作为电位差函数的相移。对于具有不同功函数的不同金属，最大相位时的尖端电压（即最小吸引力）会有所不同。从在金或铝上测得的水平移动相谱可以看出这一点。

与MFM相似，EFM的测量是将尖端抬高到样品上方。静电相互作用取决于针尖与样品之间的距离。对于扁平样品，可以在恒高模式下测量静电相互作用。对于具有较大变化的样品（如Al-Au微结构），距离变化也会引起相移。为了减少这种混合，C3000控制器和CoreAFM提供了轮廓跟随模式。

在恒高和轮廓跟随模式下，地形都在第一次运行中测出，但这在恒高模式下可以省略。恒高模式下尖端以恒定斜率第二次移过样品表面。而轮廓跟随模式，依据先前测得地形把尖端上下移动来保持间距的恒定。

如从尖端电压频谱可以得出的，功函数不同的两种金属之间的相位差随尖端电压的增加而增加。在+ 3V下测量时，铝上的相明显高于金。当施加–3V的负尖端电位时，对比度会反转，这可以从铝和金的尖端电压频谱中看到。

更多对电位变化的定量成像可以用进行。