生物芯片的缺陷分析

原子力显微镜用于测量生物芯片上肉眼可见的缺陷。但是通过光学显微镜无法确定结构是突出还是凹陷。

50x50 µm 图像, z-范围: 150nm

在右侧可以看到周期约为1 µm的理想正弦网格，在左侧则可以看到缺陷。因此，可以从AFM图像推断出在母盘制造期间形成缺陷。