纳米球光刻

纳米球光刻

实验提供: 台湾国立海洋大学光电科学研究院,基隆,台湾。 教授 : Hai-Pang Chiang博士 博士研究生 : Wen-Chi Lin & Chang-Long Chen

表面上的球体
5x5µm 图像, z-范围: 200nm
刻蚀后的表面
5x5µm 图像, z-范围: 40nm